當前，我校集成電路學院半導體探測器研發與制作實驗室正在緊張施工。副校長紀洪芳近日到實驗室施工現場督導調研建設情況，基建處、集成電路學院及工程施工單位、監理單位相關負責人參加。
期間，紀洪芳聽取了實驗室施工進展、疫情防控、質量監控等情況匯報，與集成電路學院相關負責人、專家教授代表就實驗室建設布局、科研應用規劃和校企合作前景等情況進行了交流探討。她指出，半導體探測器研發與制作實驗室是實現學校集成電路學科跨越式發展的重要支撐，是集成電路學院與社會企業開展科研合作的關鍵平臺。相關單位要齊心協力、密切配合，切實保質保量按期完成實驗室建設任務；要錨定目標、砥礪前行，著力推動集成電路領域工作高質量發展。
集成電路學院半導體探測器研發與制作實驗室，于今年6月動工建設，預計9月竣工。實驗室總建筑面積392平方米，擁有專用于超純高阻硅半導體探測器研發的工藝設備，包括光刻機、氧化爐、烘干爐、勻膠機、加熱臺、霧狀顯影機、清洗柜、干刻蝕機、甩干機、清洗機、原子層沉積設備、磁控濺射、快速退火爐、超純水系統等。實驗室建設完成后將開展硅漂移探測器、新型三維溝槽電極探測器、硅微條探測器及高阻硅前級場效應管等方面的研發工作。（集成電路學院 撰稿：王濤 審核：郭連軍）
